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精益求精于半導體器件電性能方面檢測

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

由來:admin 日子:2024-03-06 13:16 閱讀量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖發生器源表P300+測試探針臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:系統異常測試圖片線條圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:SEO后檢查擬合趨勢圖


2、三極管測試

測試設備:2臺電流源表S300+探頭臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:異常處理測量結論

不正常主要原因:探頭臺也沒有與地面,探頭臺框架上發生金屬材質,在有電的大環境下能發生靜電放電,最后對測評結論帶去印象

SEO優化舉措:將探頭臺借助電纜線傳輸沃土

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圖:改善后試驗結果顯示

3、芯片測試

測試設備:整流源表S300+電極臺

異常現象:源表未的輸出,探頭冒小火苗

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圖:異常情況測試方法-探頭冒火焰

異常原因三同定位軸線纜GUARD走勢沒有支撐。GUARD走勢如拼接正確合理,其電勢與走勢層基本性同樣,于是漏電特小,為了對走勢體現了一定的守護功效;是GUARD走勢沒有支撐,其與走勢層的電勢差越大,其實漏電越大,對走勢的影響力比較大

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優化措施:將GUARD數字訊號連接源表,使GUARD數字訊號實現維護影響

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:無效測驗效果

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:SEO優化后測量的結果

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