1、前言

        在光電電子電子元器件的技術和結合三極管工藝設備中，的素材、晶圓、單片機芯片的自測是必不易少的各個環節。隨之光電電子電子元器件的技術自測的技術的成長，小數9源表SMU結合探頭臺的體系結合已然被豐富APP于的素材/細小電子電子元器件的電學特點特點安全驗證中。小數9源表SMU具有源測用途，能夠誕生瞬時電流-電流值(I-V)特點特點等值線，是光電電子電子元器件的技術的素材、電子電子元器件電特點分析方法檢測的的基本；探頭臺有手動擋、半重新和全重新三大，通過自測所需選定配合的的產品就能。在所用時所需還要注意探頭的所選質地與針尖的直徑不低于與圖形，探頭所選質地不重復，其電位差是不重復；最后，探頭尖劃痕和水污染也會對自測報告容易造成會影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT聯系提示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的傳輸方式常考有不同，是一種選用同基準面傳輸方式，另是一種選用三同基準面傳輸方式。當自動測量小電壓電流值(nA、pA)時，應選用三同軸轉移輸出模塊和三同基準面纜。在傳輸源表保護終端的自測自測控制電路中，因三同軸的保護層與內芯左右是等電極電位，不就會有漏電壓電無痛人流生，會增加小電壓電流值自測自測精密度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2耐壓；3內手機屏蔽掉層；4其中層；5外手機屏蔽掉層；6外保護套）

圖：三同中心線纜等效電路系統圖

  上圖隨時為三同基準面纜等效用電線路圖，打印輸出高品質HI和Guard左右的電勢差可以說為0，為了除掉線材自身業務的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S產品系列整流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸連到途徑器與普通級兩芯連到途徑器進而與眾不同，可也接駁信息、接地保護和閉屏層，閉屏效率好。和多芯電纜線較之，三同軸電纜線組成部分輕松，準確高；和兩芯同軸電纜線較之，有著高的閉屏食用性能和小信息的傳導力量。三同軸電纜線的連到途徑途徑食用了GUARD信息，做到了閉屏幫助，更益于于小信息的測試。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

操作杜邦線轉BNC母頭做好聯系；

- 三同軸連接 -

施用三同軸接轉摸塊展開接觸。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

隨時應用三同基準面做出相連接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將常見的三同軸更新為髙壓專門的三同軸網；直流髙壓三同軸接線頭的耐沖擊力較好，普賽斯便用的直流髙壓三同軸接線頭需要耐沖擊3500V。

圖：左-直流高壓三同軸、右-傳統三同軸

HCPL 100大電流源表

大電流大小量值檢測的時，單根電極允許值的電流大小量值是有限的，電流大小量值過大有機會會引發的燒針問題，應響檢驗最終結果，對此必須要安全使用多電極串并聯。

圖：多測試探針并接構造

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面參比電極相連展示

圖：異面參比電極聯系提醒

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。